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詳細介紹
隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求，由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能*適用于所有的工作壓力范圍，只能根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應用。
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| 參數名稱 | 參數定義 |
|---|---|
| 真空泵的極限壓強 | 泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的zui低壓強。 |
| 真空泵的抽氣速率 | 泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試 驗罩，并按規定條件工作時，從試驗罩 流過的氣體流量與在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。簡稱泵的抽速。 |
| 真空泵的抽氣量 | 真空泵的抽氣量 單位是Pam3/s或Pal/s。是指 泵入口的氣體流量。 |
| 真空泵的起動壓強 | 真空泵的起動壓強單位為Pa，它是指泵無損壞起動并有抽氣作用 時的壓強。 |
| 真空泵的前級壓強 | 真空泵的前級壓強 單位是Pa，它是指排氣壓強 低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。 |
| 真空泵zui大前級壓強 | 真空泵口zui大前級壓強單位是Pa，它是指超過了 能使泵損壞 的前級壓強。 |
| 真空泵的zui大工作壓強 | 真空泵的zui大工作壓強單位是Pa，它是指對應zui大抽氣量 的入口壓強。在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞。 |
| 真空泵的壓縮比 | 壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比。 |
| 真空泵的何氏系數 | 泵抽氣通道面積上的實際抽速 與該處按分子瀉流計算的理論抽速 之比。 |
| 真空泵的抽速系數 | 泵的實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算的理論抽速之比。 |
| 真空泵的返流率 | 泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流質量流率。 |
| 水蒸氣允許量 | 水蒸氣 的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵 在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。 |
| zui大允許水蒸氣入口壓強 | zui大允許水蒸氣入口壓強 單位是Pa。它是指 在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強。 |
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